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５００倍の世界

 投稿者：けん  投稿日：2009年 9月21日(月)08時31分11秒 		　 通報
  ＮＡが高いってことですよね。
解像度を良くしようとしたらそうなってしまうんですかね。

ステッパーについて調べるとなかなか光学系も面白いもんです。
波長200nmの光源で45nmの線が露光できるんですから。不思議です。
たぶん線幅45nmを達成したのはニコンより三鷹光器が先だったと思います。
三鷹光器の光学系や測定機の技術って凄いですね。 		 
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